応募の概要
我が国が保有する高水準の要素技術等を活用し、より高性能な省エネエレクトロニクス製品を開発することで、飛躍的な省エネルギー化を実現。また、安定的な供給を可能とするサプライチェーンを確保する目的で、〔1〕新世代パワー半導体の開発 〔2〕半導体製造装置の高度化に向けた技術開発 を実施することにより、省エネエレクトロニクス製品の製造基盤強化を目指します。
なお、本追加公募では、「半導体製造装置の高度化に向けた技術開発/三次元積層関連装置等の革新的技術」のうち、後工程用露光装置に関する研究開発を対象とします。