応募の概要
第4世代移動通信システム(4G)と比べてより高度な第5世代移動通信システム(5G)は、現在各国で商用サービスが始まっていますが、更に超低遅延や多数同時接続といった機能が強化された5G(以下、「ポスト5G」)は、今後、スマート工場や自動運転といった多様な産業用途への活用が見込まれており、我が国の競争力の核となり得る技術と期待されます。
NEDOは、本事業において将来的に、ポスト5G情報通信システムで用いられる先端半導体を国内で製造できる技術を確保するため、以下の開発に取り組みます。詳細は下記資料欄の研究開発計画をご参照ください。
〔2〕 先端半導体製造技術の開発 (助成)
(c) 露光周辺技術開発
(c1) EUV露光装置向けペリクル技術開発
(c2) EUV露光装置向け次世代フォトレジスト技術開発