概要 閉じる

配分機関名
国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構
公募年度
2022
公募名
「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術の開発(助成)」に係る公募について
研究分野
 
キーワード
 
受け付ける研究期間(最短・最長)
(最短) 1から (最長) 6年
応募受付期間
2022/04/22 13:30   ~   2022/05/26 12:00
事業分類カテゴリ
研究助成
対象者カテゴリ
企業(団体等を含む)、大学等
応募額の制限
応募額の制限
(下限) (設定なし)   ~   (上限) (設定なし)
間接経費
(上限金額設定)
再委託費・
共同実施費
(下限) (設定なし)   ~   (上限) (設定なし)
過去の採択状況URL

詳細

応募の概要
第4世代移動通信システム(4G)と比べてより高度な第5世代移動通信システム(5G)は、現在各国で商用サービスが始まっていますが、更に超低遅延や多数同時接続といった機能が強化された5G(以下、「ポスト5G」)は、今後、スマート工場や自動運転といった多様な産業用途への活用が見込まれており、我が国の競争力の核となり得る技術と期待されます。 NEDOは、本事業において将来的に、ポスト5G情報通信システムで用いられる先端半導体を国内で製造できる技術を確保するため、以下の開発に取り組みます。詳細は下記資料欄の研究開発計画をご参照ください。 〔2〕 先端半導体製造技術の開発 (助成) (c) 露光周辺技術開発 (c1) EUV露光装置向けペリクル技術開発 (c2) EUV露光装置向け次世代フォトレジスト技術開発 
応募の対象者
企業(団体等を含む)、大学等
スケジュール
対象業務 日程
公募開始 4月22日
公募締切 5月26日
一次採択審査委員会(経済産業省) 6月中旬(予定)
二次採択審査委員会(NEDO) 6月下旬(予定)
採択先の決定 7月中下旬(予定)
連絡事項
 
公募担当者情報
部・課
 
担当者氏名
 
電話番号
 
FAX番号
メールアドレス
 
応募要領ファイル
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申請様式ファイル
ダウンロード
URL
制度・事業URL
操作マニュアル(制度・事業固有版)
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